Rauheits/Topographie-Analysen

Querschnittsanalysen

Ge­naue to­po­gra­phi­sche Ver­mes­sung von Struk­tu­ren im nm- und µm-Be­reich. La­te­ra­le Ab­mes­sun­gen und Tie­fen­pro­fi­le wer­den mit nm-Ge­nau­ig­keit er­stellt.

Rauheitsanalysen: Ermittlung von RMS- und Ra-Werten

Durch ge­eig­ne­te Al­go­rith­men wer­den unter an­de­rem Rau­ig­keits­wer­te wie die mitt­le­re Stan­dard­ab­wei­chung (RMS) und die mitt­le­re Rau­heit (Ra) be­stimmt.