Rauheits/Topographie-Analysen

Querschnittsanalysen

Genaue topographische Vermessung von Strukturen im nm- und µm-Bereich. Laterale Abmessungen und Tiefenprofile werden mit nm-Genauigkeit erstellt.


Rauheitsanalysen: Ermittlung von RMS- und Ra-Werten

Durch geeignete Algorithmen werden unter anderem Rauigkeitswerte wie die mittlere Standardabweichung (RMS) und die mittlere Rauheit (Ra) bestimmt.